激光刻阻机

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中文名
激光刻阻机
激光波长
:1064/532/355nm 
激光平均功率
:10W / 20W / 7W(UV355) 
激光频率
:200Hz-50KHz 

激光刻阻机设备特点

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--调阻精度高:先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束;四线制高速测量系统,测量时间仅为25us;拥有软件预调误差补偿功能;
--调阻速度快:先进的激光器拥有极高的重复频率,在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度;德国进口扫描振镜,扫描速度极快;高精度分步重复机构,空气轴承,移动速度及加速度快;
--可靠性高:整机配置核心器件均采用原装进口配置;采用花岗岩台座,稳定可靠;
--功能强大:拥有温度实时补偿功能;同时具有激光划片和打标功能;
--运行及维护成本低廉:采用半导体端面泵浦或光纤激光器;使用寿命长,性能稳定;电光转换效率高,节约用电成本;采用风冷系统,无须外置冷却设备;操作简单,无须高额培训成本;

激光刻阻机技术参数

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--激光器系统:
激光类型:半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
典型光斑尺寸:30μm
实际切口取决于材料、光学器件和波长;可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12μm
泵浦源使用寿命:20,000—100,000小时
冷却方式:风冷
对焦方式:计算机程序控制
--激光束定位系统:
激光束运动范围:75mmX75mm(可选配其他规格)
点到点运动时间:5ms(典型)
最大速度:7000mm/s
重复定位精度:2.5μm
激光束最小步进:0.76μm
--图像监视系统:
监视方式:激光同轴监视
最大放大倍数:>100倍
图像监视显示屏:19寸液晶
--测量系统:
激励方式:电流/电压激励
恒流源:0.01μA~100mA计算机程控选择
恒压源:0~20V计算机程控选择(可选其它电压范围)
电阻测量方式:四线制加电流测电压
直流电压测量:10mV~10V(满程电压)
调节对象发热控制:程序可设定
电阻测量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
电阻测量范围:0.01Ω-500MΩ
电阻测量速度:25μs
直流电压分辨率:0.16μV(在10mV满量程条件下)
探针板:44针11组四线制(可选其它规格)
探针板运动:计算机程序控制
--计算机及软件系统:
工业控制计算机(双核),17寸液晶
操作系统:Windows XP
VB平台开发的可视化应用软件,界面友好,功能强大
--分步重复运动系统:
运动XY范围:290x260mm
运动分辨率:1μm
定位精度:小于6μm(带误差补偿)
重复定位精度:小于3μm
最大运动速度:900mm/s
具有温度补偿等功能
--非接触温度测量:
温度测量精度:0.2℃
调阻温度修正:计算机程序控制
--其它技术指标:
供电电压:220V AC
整机功耗:小于1000W

激光刻阻机应用和市场

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应用和市场:主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、军工科研、片式电阻等行业。
词条标签:
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